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Système de déflexion 20bits faible bruit pour EBPG5000Plus Organisme : CNRS Délégation 18 Bénéficiaire de l'achat : Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie Nature : Fournitures
CNRS Délégation 18
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Système de déflexion 20bits faible bruit pour EBPG5000Plus

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Marché public ou privé
Référence du marché : 479865

Etat : Première publication
Publié dans :
SOURCEWEB (06/02/13)

Organisme : CNRS Délégation 18

Bénéficiaire de l'achat : Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie

Nature : Fournitures

Intitulé : Système de déflexion 20bits faible bruit pour EBPG5000Plus

Domaine : GROSSE INSTRUMENTATION SCIENTIFIQUE

Sous-domaine : MATERIELS POUR LA MICROSCOPIE

Zone géographique de livraison ou d'exécution : Nord, Pas-de-Calais et Picardie

Date de publication : 06/02/13

Adresse de livraison ou d'exécution : IEMN UMR CNRS 8520 CITE SCIENTIFIQUE AVENUE POINCARE BP 60069 59652 VILLENEUVE D'ASCQ CEDEX FRANCE

Date prévisionnelle de livraison : 13/05/13

Etat des matériels : Neuf uniquement

Description technique : Ce système doit être intégré dans un équipement de lithographie par faisceau d'électrons existant. Il vise à augmenter la résolution de la grille d'adressage par remplacement des convertisseurs digitaux-analogiques 16 bits par une version 20 bits. L'équipement, dans sa configuration actuelle, possède une taille de champ maximale de 512 microns et un pas d’adressage minimal de 1,25nm pour une taille de champ de 80μm. La taille de champ maximale est obtenue en utilisant une grille d'adressage multiple de 7.8125nm . Dans la nouvelle configuration, le pas d'adressage minimal sera de 0.08nm et la taille de champ de 540μm quelle que soit la résolution L'ensemble des composants du système de déflexion principal sera remplacé pour améliorer la résolution de l'équipement par une réduction du bruit électronique. La prestation inclura la fourniture et l'installation des éléments suivants: - Convertisseurs digitaux-analogiques (DAC) 20bits - Microprogramme pour le pilotage des DAC - Mise à jour du logiciel de commande de l'équipement - Amplificateurs de puissance, électronique analogique et alimentations de puissance faible bruit Après installation, le système sera testé pour 50 et 100keV suivant le protocole standard de contrôle de l'équipement (Acceptance tests for the EBPG5000Plus). Un test de résolution sera également réalisé consistant en l'écriture de lignes de 10nm de HSQ sur silicium Le nouveau système sera intégré dans le contrat de prestation existant.

Conditions d'exécution du marché :

Modalités de participation :


Pièces à fournir : Devis Attestation sur l'honneur (fiscale et sociale) et d'assurance

Modes de transmission autorisés : Courrier électronique, Courrier postal ou remise en main propre

Date limite de réception : 20/02/13 16:00

Autres renseignements : Merci de retourner le document ci-jiont complété en indiquant si vous demandez le versement d'une avance de 30%.

Contacts :

Expert Technique / Acheteur :

Nom : Mr FRANCOIS

Adresse : IRCICA La Haute Borne 50, Avenue Halley 59652 Villeneuve d'Ascq

Téléphone : 03 20 19 78 22

Fax : **********

Courriel : marc.francois@iemn.univ-lille1.fr


Contact Administratif :

Nom : Mme FUGERE

Adresse : IEMN-CNRS-UMR8520 AVENUE POINCARE CS 60069 59652 VILLENEUVE D'ASCQ CEDEX

Téléphone : **********

Fax : **********

Courriel : sandrine.fugere@iemn.univ-lille1.fr



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