Centrale des marchés
15.06.01 Aligneur de Masque UV proche et profond — pour le compte du CNRS-Femto II.1) Description II.1.1) Intitulé attribué au contrat par le pouvoir adjudicateur: 15.06.01 Aligneur de Masque UV proche et profond — pour le compte du CNRS-Femto. II.1.2) Type de marché et lieu d...
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15.06.01 Aligneur de Masque UV proche et profond — pour le compte du CNRS-Femto

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Marché public ou privé
Référence du marché : 1393405

Date de clôture estimée : 25/03/15
Etat : Première publication
Publié dans :
JOUE (11/02/15)
48672-2015
I.1) Nom, adresses et point(s) de contact
54519
17 rue Notre Dame des Pauvres, BP 10075
Délégation Centre Est du CNRS
Karen Vegezzi
+33 383856077
FRANCE
+33 383856058
achats@dr6.cnrs.fr
Vandoeuvre-lès-Nancy

Adresse(s) internet:

http://www.dr6.cnrs.fr/centre-est/

https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseHome

Adresse auprès de laquelle des informations complémentaires peuvent être obtenues:

Adresse auprès de laquelle le cahier des charges et les documents complémentaires (y compris les documents relatifs à un dialogue compétitif et à un système d'acquisition dynamique) peuvent être obtenus:

Adresse à laquelle les offres ou demandes de participation doivent être envoyées:


I.2) Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.3) Activité principale
Autre: Recherche
I.4) Attribution de marché pour le compte d’autres pouvoirs adjudicateurs
Le pouvoir adjudicateur agit pour le compte d'autres pouvoirs adjudicateurs: non
II.1) Description
II.1.1) Intitulé attribué au contrat par le pouvoir adjudicateur:
15.06.01 Aligneur de Masque UV proche et profond — pour le compte du CNRS-Femto.
II.1.2) Type de marché et lieu d’exécution, de livraison ou de prestation
Fournitures
Achat
Lieu principal d’exécution des travaux, de livraison des fournitures ou de prestation des services: FEMTO — ST — centrale de technologie Mimento
bâtiment «Temis Innovation — maison des microtechniques»
UMR 6174
18 rue Alain Savary
25000 Besançon.
Franche-Comté
FR43


II.1.3) Information sur le marché public, l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
L'avis concerne un marché public
II.1.4) Information sur l’accord-cadre
II.1.5) Description succincte du marché ou de l’acquisition/des acquisitions
Aligneur de masque UV proche et profond, l'équipement devra être évolutif pour le compte du laboratoire FEMTO-CNRS.
II.1.6) Classification CPV (vocabulaire commun pour les marchés publics)
Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes
31712000
II.1.7) Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Marché couvert par l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
II.1.8) Lots
Division en lots: non
II.1.9) Variantes
Des variantes seront prises en considération: oui
II.2) Quantité ou étendue du marché
II.2.1) Quantité ou étendue globale:
L'équipement recherché a pour objectif de pouvoir réaliser des étapes de photolithographie, c'est-à-dire exposer des résines photosensibles, préalablement étalées sur des échantillons de type wafer, à un rayonnement ultraviolet (UV) au travers d'un masque spécifique à ce genre d'opération (plaque de verre comportant des motifs en chrome).
Cet aligneur de masque sera capable de délivrer un rayonnement UV proche, allant de 350 à 450 nm, pour obtenir une résolution proche du micromètre et également un rayonnement UV profond «deep UV», inférieur à 280 nm pour une résolution de l'ordre de 0,5 micromètre.
L'appareil pourra faire l'alignement du masque soit avec la face avant des substrats (procédé simple face) ou soit avec leur face arrière (procédé double face).
L'équipement devra être évolutif afin de permettre aux chercheurs et ingénieurs de FEMTO-ST d'explorer le plus de voies possibles. En particulier il devra être possible à l'avenir d'insoler des wafers allant jusqu'à 6 pouces de diamètre.
6 options à caractère obligatoires: cf II.2.2 Information sur les options.

II.2.2) Information sur les options
Options: oui
description de ces options: 1. Option compatibilité 6 pouces: un porte masque 7 pouces et un porte substrat 6 pouces.
2. Option vision temps réel: l'offre devra proposer en option la possibilité de réaliser les alignements face avant avec observation directe en temps réel de l'alignement par l'intermédiaire d'une optique sans capture d'image.
3. Option faible grandissement: un système optique supplémentaire permettant d'obtenir de faibles grandissements, 40 x à 100 x à l'écran de visualisation, offrant ainsi un grand champ d'observation.
4. Option procédé «deep UV» : une formation de 2 jours à la mise au point d'un procédé «deep-UV» comprenant les étapes d'enduction, d'exposition et de développement par un ingénieur procédé.
5. Option contrat de maintenance: un contrat de maintenance préventive annuelle (contrat de maintenance + assistance hotline).
6. Option Chargement automatique: l'offre devra fournir en option la possibilité de réaliser un chargement et un alignement automatique des substrats 4 pouces.

II.2.3) Reconduction
Ce marché peut faire l'objet d'une reconduction: non
II.3) Durée du marché ou délai d'exécution des travaux
Durée en mois: 3 (à compter de la date d’attribution du marché)
III.1) Conditions relatives au contrat
III.1.1) Cautionnement et garanties exigés:
III.1.2) Modalités essentielles de financement et de paiement et/ou références aux textes qui les réglementent:
En application du décret n° 2013-269 du 29.3.2013, le délai global de paiement ne pourra excéder 30 jours à compter de la date de réception de la demande de paiement par les services. Le marché prévoit une avance de 30 % du montant initial si le candidat l'accepte dans l'acte d'engagement, un acompte de 50 % versé à la livraison de l'équipement et sur présentation d'une facture et le paiement du solde à l'admission du matériel et après formation des utilisateurs.
III.1.3) Forme juridique que devra revêtir le groupement d'opérateurs économiques attributaire du marché:
Les candidats peuvent remettre une offre sous forme d'un groupement conjoint ou solidaire.
III.1.4) Autres conditions particulières
L'exécution du marché est soumise à des conditions particulières: non
III.2) Conditions de participation
III.2.1) Situation propre des opérateurs économiques, y compris exigences relatives à l’inscription au registre du commerce ou de la profession
Renseignements et formalités nécessaires pour évaluer si ces exigences sont remplies: — La lettre de candidature présentant: les noms, Siret et coordonnées du candidat; en cas de groupement: le nom du mandataire; la forme du groupement (conjoint ou solidaire); l'autorisation ou non du mandataire à signer seul l'acte d'engagement (ou formulaire DC1),
— les pouvoirs de la personne habilitée à engager la société,
— la copie du ou des jugements prononcés, si le candidat est en redressement judiciaire (le cas échéant, l'article e). redressement judiciaire de la déclaration sur l'honneur demandée ci-dessous doit être rayé),
— une déclaration sur l'honneur, pour justifier que le candidat n'entre dans aucun des cas mentionnés à l'article 8 de l'ordonnance n° 2005-649 du 6.6.2005 (ou annexe 1 RC: modèle d'attestation),
— une attestation d'assurance en cours de validité.

III.2.2) Capacité économique et financière
Renseignements et formalités nécessaires pour évaluer si ces exigences sont remplies: Une déclaration concernant le chiffre d'affaires global et le chiffre d'affaires concernant les fournitures, services ou travaux objet du présent marché, réalisés au cours des 3 derniers exercices disponibles (ou formulaire DC2).
III.2.3) Capacité technique
Renseignements et formalités nécessaires pour évaluer si ces exigences sont remplies:
Une liste de clients de référence du fournisseur en France ou en Europe (en précisant le nom de l'entreprise, l'année d'achat, le type d'équipement et si possible le nom d'un contact au sein de l'entreprise).

III.2.4) Informations sur les marchés réservés
III.3) Conditions propres aux marchés de services
III.3.1) Information relative à la profession
III.3.2) Membres du personnel responsables de l'exécution du service
IV.1) Type de procédure
IV.1.1) Type de procédure
Ouverte
IV.1.2) Limites concernant le nombre d’opérateurs invités à soumissionner ou à participer
IV.1.3) Réduction du nombre d’opérateurs durant la négociation ou le dialogue
IV.2) Critères d’attribution
IV.2.1) Critères d’attribution
Offre économiquement la plus avantageuse, appréciée en fonction des critères suivants des critères énoncés dans le cahier des charges, dans l’invitation à soumissionner ou à négocier, ou dans le document descriptif
IV.2.2) Enchère électronique
Une enchère électronique sera effectuée: non
IV.3) Renseignements d'ordre administratif
IV.3.1) Numéro de référence attribué au dossier par le pouvoir adjudicateur:
15.06.01 - Femto - Aligneur de masque UV proche et profond
IV.3.2) Publication(s) antérieure(s) concernant le même marché
non
IV.3.3) Conditions d'obtention du cahier des charges et de documents complémentaires ou du document descriptif
IV.3.4) Date limite de réception des offres ou des demandes de participation
25.3.2015 - 16:00
IV.3.5) Date d’envoi des invitations à soumissionner ou à participer aux candidats sélectionnés
IV.3.6) Langue(s) pouvant être utilisée(s) dans l’offre ou la demande de participation
anglais. français.
IV.3.7) Délai minimum pendant lequel le soumissionnaire est tenu de maintenir son offre
en jours: 90 (à compter de la date limite de réception des offres)
IV.3.8) Modalités d’ouverture des offres
Personnes autorisées à assister à l'ouverture des offres: non
VI.1) Renouvellement
Il s'agit d'un marché renouvelable: non
VI.2) Information sur les fonds de l'Union européenne
Le marché s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l’Union européenne: non
VI.3) Informations complémentaires
Retrait du dossier sur la plateforme suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr/?page=entreprise.EntrepriseAdvancedSearch&AllCons&refConsultation=227993&orgAcronyme=f2h
VI.4) Procédures de recours
VI.4.1) Instance chargée des procédures de recours
54036
n° 38, 5 place Carrière
Tribunal Administratif de Nancy
greffe.ta-nancy@juradm.fr
+33 383174343
FRANCE
+33 383174350
Nancy
VI.4.2) Introduction des recours
VI.4.3) Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction des recours
54036
n°38, 5 place Carrière
Tribunal administratif de Nancy
greffe.ta-nancy@juradm.fr
+33 383174343
FRANCE
+33 383174350
Nancy
VI.5) Date d’envoi du présent avis:
6.2.2015
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