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A proximité de Lille 59001 Nord
Acheteur : CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
43 avenue le Corbusier
59046 Lille Cedex
Tel : 0320125800
Secteurs d'activité
Système de dépôt.

Fourniture et installation d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

Type d'avis : Avis d’attribution
Type de marché : Européen
Date de publication : 22/12/2023
JOUE - 780192-2023

Avis d’attribution de marché

Résultats de la procédure de marché

Fournitures

Base juridique:
Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France
Numéro national d'identification: 180 089 013 03894
Adresse postale: 43 avenue le Corbusier BP 30123
Ville: Lille Cedex
Code NUTS: FRE11 Nord
Code postal: 59001
Pays: France
Point(s) de contact: Pôle Achats et Marchés Publics
Courriel: dr18.liste.poleachats@dr18.cnrs.fr
Téléphone: +333 20125800
Fax: +33 320630043
Adresse(s) internet:
Adresse principale: https://www.cnrs.fr
Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr
I.4)Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.5)Activité principale
Autre activité: Recherche

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Fourniture et installation d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

Numéro de référence: 202328041106
II.1.2)Code CPV principal
42965110 Système de dépôt
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Dans le cadre du CPER IMITECH et NANOFUTUR, l'IEMN (Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie) souhaite faire l'acquisition d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).

II.1.6)Information sur les lots
Ce marché est divisé en lots: non
II.1.7)Valeur totale du marché (hors TVA)
Valeur hors TVA: 837 676.00 EUR
II.2)Description
II.2.3)Lieu d'exécution
Code NUTS: FRE11 Nord
Lieu principal d'exécution:

La livraison et l'installation se feront à l'IEMN en salle blanche, au rez-de-chaussée.

Adresse :

IEMN UMR CNRS 8520

Av Poincaré CS60069

59652 Villeneuve d'Ascq Cedex

II.2.4)Description des prestations:

L’équipement souhaité est destiné au dépôt de couches minces utilisant la technologie PECVD. L’équipement doit permettre le dépôt de matériaux en couches minces, présentant des indices optiques variables, tels que l’oxyde de silicium (SiO2), le nitrure de silicium (Si3N4) et divers oxy-nitrures (SiOxNy) ; le silicium hydrogéné (a-Si-H) ; et des oxydes élaborés à partir d’orthosilicate de tétraéthyle (TEOS). L’objectif est d’obtenir des couches de très bonne qualité avec une épaisseur et un indice de réfraction parfaitement maîtrisés. Les dépôts doivent être possibles sur des substrat rigides (Si, GaAs, GaN, quartz, etc.) comme sur des substrats souples polymère (e.g. Kapton). L’équipement doit aussi permettre de réaliser des dépôts à plus faible température (80 °C) et avec de très faibles contraintes mécaniques.

II.2.5)Critères d’attribution
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Nombre de recettes disponibles à mettre en disposition pour les matériaux demandés et ses propriétés. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Uniformité sur substrat 2D Si 100mm des dépôts pour les matériaux SiO2, Si3N4, SiOxNy, Si-H, SiO2 par TEOS. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Délais pour le développement des recettes demandées. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Support procédés. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Compacité du matériel. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Modifications et évolutions possibles vers l’acceptabilité de substrats de 200 mm de diamètre, et vers un cluster multichambre et/ou cassette multiwafer. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Système de fixation des échantillons sur l'électrode inférieure / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Logiciel de pilotage : clarté du synoptique, affichage de paramètres (température, pression, puissance, etc.) sur le synoptique, exportation du rapport reprenant l'historique de passage. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur technique - Niveaux d'accès (a minima opérateur et administrateur) et personnalisation des droits sur le logiciel de pilotage. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Qualité du SAV - Délais de garantie de l'équipement (12 mois minimum). / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Qualité du SAV - Délais garantis d'assistance par téléphone ou par courriel ainsi que les moyens mis en œuvre et délais garantis d’intervention sur site et les modalités de dépannage du système. / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Délais - Délais de livraison sur le site de l'IEMN (12 mois maximum). / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Délais - Délais pour la mise en service, tests et 1ère formation à compter de la livraison sur le site (1 mois maximum). / Pondération: 5
Critère de qualité - Nom: Valeur environnementale - Intégration de pompes de consommation réglables ou de basse consommation énergétique. / Pondération: 2,5
Critère de qualité - Nom: Valeur environnementale - Consommation énergétique d'un procédé de fabrication d'une couche mince de SiO2. / Pondération: 2,5
Prix - Pondération: 30
II.2.11)Information sur les options
Options: oui
Description des options:

Quatre PSE obligtaoires sont demandées :

- PSE obligatoire n°1 : Nettoyage RPC (Remote Plasma Cleaning)

- PSE obligatoire n°2 : Extension de garantie de douze mois supplémentaires

- PSE obligatoire n°3 : Kit de maintenance

- PSE obligatoire n°4 : Contrat de maintenance

II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires

Section IV: Procédure

IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédure
Procédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.1)Publication antérieure relative à la présente procédure
Numéro de l'avis au JO série S: 2023/S 165-519739
IV.2.8)Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique
IV.2.9)Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation

Section V: Attribution du marché

Marché nº: 2027788
Intitulé:

Fourniture et installation d'un équipement de dépôt PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

Un marché/lot est attribué: oui
V.2)Attribution du marché
V.2.1)Date de conclusion du marché:
18/12/2023
V.2.2)Informations sur les offres
Nombre d'offres reçues: 1
Nombre d'offres reçues de la part de PME: 0
Nombre d'offres reçues de la part de soumissionnaires d'autres États membres de l'UE: 0
Nombre d'offres reçues de la part de soumissionnaires d'États non membres de l'UE: 1
Nombre d'offres reçues par voie électronique: 1
Le marché a été attribué à un groupement d'opérateurs économiques: non
V.2.3)Nom et adresse du titulaire
Nom officiel: KLA Corporation
Ville: Milpitas
Code NUTS: US United States
Code postal: 95035
Pays: États-Unis
Le titulaire est une PME: non
V.2.4)Informations sur le montant du marché/du lot (hors TVA)
Estimation initiale du montant total du marché/du lot: 1 120 000.00 EUR
Valeur totale du marché/du lot: 837 676.00 EUR
V.2.5)Information sur la sous-traitance

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.3)Informations complémentaires:
VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours
Nom officiel: Tribunal Administratif de Lille
Adresse postale: 5 rue Geoffroy Saint-Hilaire
Ville: Lille
Code postal: 59000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-lille@juradm.fr
Téléphone: +333 59542342
Adresse internet: http://lille.tribunal-administratif.fr
VI.4.3)Introduction de recours
Précisions concernant les délais d'introduction de recours:

• Référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l'article R. 551-7 du CJA ;

• Recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l'accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision Département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4 avril 2014, n°358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d'une demande tendant, sur le fondement de l'article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l'exécution du contrat.

VI.5)Date d’envoi du présent avis:
19/12/2023