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A proximité de Grenoble 38054 Isere
Acheteur : CEA Grenoble
17 Rue des Martyrs
38054 GRENOBLE CEDEX 9
Tel : 04 38 78 33 06
Secteurs d'activité
Machines et appareils microélectroniques.

Fourniture d'équipements de METROLOGIE

Type d'avis : Avis d’attribution
Type de marché : Européen
Date de publication : 22/12/2023
JOUE - 779635-2023

Avis d’attribution de marché

Résultats de la procédure de marché

Fournitures

Base juridique:
Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: GRENOBLE CEDEX 9
Code NUTS: FRK24 Isère
Code postal: 38054
Pays: France
Point(s) de contact: Mme Syrga TURGANALIEVA
Courriel: syrga.turganalieva@cea.fr
Téléphone: +33 438783071
Fax: +33 438785060
Adresse(s) internet:
Adresse principale: www.cea.fr
Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr
I.4)Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.5)Activité principale
Autre activité: Recherche

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Fourniture d'équipements de METROLOGIE

Numéro de référence: B22-05043-ST
II.1.2)Code CPV principal
31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de métrologie suivants pour le compte du CEA/LETI :

LOT n°1 : Equipement de caractérisation FTIR

LOT n°2 : Equipement de mesure de défectivité non-patternée

LOT n°3 : Microscope électronique à balayage pour contrôle dimensionnel CD-SEM

LOT n°4 : Equipement d’analyse physique de contamination métallique TXRF

LOT n°5 : Plateforme de préparation d’échantillons FIB et d’observation par TEM

Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.

II.1.6)Information sur les lots
Ce marché est divisé en lots: oui
II.1.7)Valeur totale du marché (hors TVA)
Valeur hors TVA: 1.00 EUR
II.2)Description
II.2.1)Intitulé:

Equipement de caractérisation FTIR

Lot nº: 1
II.2.2)Code(s) CPV additionnel(s)
31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.2.3)Lieu d'exécution
Code NUTS: FRK24 Isère
II.2.4)Description des prestations:

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de caractérisation de matériaux par infra-rouge par Transformée de Fourier (FTIR). Il devra fonctionner en modes réflexion et transmission et devra offrir une gamme spectrale couvrant au moins la gamme 4000cm-1 to 400cm-1. Cet équipement sera utilisé pour des applications de microélectronique sur des plaques de diamètre 300 mm, et devra en complément offrir la possibilité d'effectuer des mesures en 200 mm.

II.2.5)Critères d’attribution
Critère de qualité - Nom: Performance des process / Pondération: 35
Critère de qualité - Nom: Qualité matérielle et capabilité hardware / Pondération: 20
Prix - Pondération: 45
II.2.11)Information sur les options
Options: non
II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires

Il a été indiqué 1.00 EUR à la rubrique "montant" uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.

Section IV: Procédure

IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédure
Procédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.1)Publication antérieure relative à la présente procédure
Numéro de l'avis au JO série S: 2022/S 164-463847
IV.2.8)Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique
IV.2.9)Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation

Section V: Attribution du marché

Marché nº: 4000987514
Lot nº: 1
Intitulé:

Equipement de caractérisation FTIR

Un marché/lot est attribué: oui
V.2)Attribution du marché
V.2.1)Date de conclusion du marché:
12/01/2023
V.2.2)Informations sur les offres
Nombre d'offres reçues: 2
Le marché a été attribué à un groupement d'opérateurs économiques: non
V.2.3)Nom et adresse du titulaire
Nom officiel: ONTO Innovation Inc
Adresse postale: 16 Jospin Road Wilmington
Ville: Massachussetts
Code NUTS: US United States
Code postal: 01887
Pays: États-Unis
Le titulaire est une PME: non
V.2.4)Informations sur le montant du marché/du lot (hors TVA)
Valeur totale du marché/du lot: 1.00 EUR
V.2.5)Information sur la sous-traitance

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.3)Informations complémentaires:

Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I) du présent avis. La consultation s'effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.

VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours
Nom officiel: TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Ville: GRENOBLE
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours
Nom officiel: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Ville: GRENOBLE
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.5)Date d’envoi du présent avis:
19/12/2023