1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
Description: Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe). Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Option 1 : Process 7 (gravure du spacer SiCO) - Option 2 :Process 8 (gravure du spacer et SADP) - Option 3 : Formation de maintenance Niveau 1 Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - Option 4 : Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 5 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 6 : Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 7 : Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2)
Identifiant de la procédure: d01a9bd4-8160-409a-a1d5-3215aa95a0a6
Identifiant interne: B26-00241-TZ
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31720000 Équipement électromécanique
2.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
2.1.4.
Informations générales
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusion: Document de marché
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Equipement 300mm de gravure sélective Si / SiGe
Description: Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe).
Identifiant interne: B26-00241-TZ
5.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 1 An
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée:
La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne:
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES - PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr .
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélection: Document de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes:
Nombre minimal de candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure: 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains candidats peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11.
Documents de marché
Langues dans lesquelles les documents de marché sont officiellement disponibles: français
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de soumission:
Soumission par voie électronique: Requise
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation/candidatures peuvent être présentées: français
Catalogue électronique: Non autorisée
Variantes: Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation/candidatures: 18/03/2026 12:00:00 (UTC+01:00) Heure de l'Europe centrale, heure d'été de l'Europe occidentale
Conditions du marché:
Le contrat doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés: Non
Facturation électronique: Requise
La commande en ligne sera utilisée: oui
Le paiement électronique sera utilisé: oui
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recours: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui reçoit les demandes de participation/candidatures: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui traite les offres: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Numéro d’enregistrement: 775 685 019
Département: Isère
Adresse postale: 17 avenue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Thomas ZEMERLI
Téléphone: 0675022569
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui reçoit les demandes de participation/candidatures
Organisation qui traite les offres
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 173800053
Département: Isère
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Identifiant/version de l’avis: a789cd48-2bda-4048-8e63-ad48345b80c6 - 01
Type de formulaire: Mise en concurrence
Type d’avis: Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 16
Date d’envoi de l’avis: 13/02/2026 08:12:20 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 108390-2026
Numéro de publication au JO S: 32/2026
Date de publication: 16/02/2026
