1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture et installation d'un Instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur
Description: Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche de classe ISO 4. Il devra permettra la mesure automatisée de structures de tests de dimensions (100*100) µm² sur des plaquettes de silicium de diamètres 300 et 200 mm. Il devra disposer de trois sources de rayons X monochromatiques de manière à couvrir, a minima, une gamme spectrale comprise entre 1.5 keV et 5.4 keV. L’équipement devra respecter les contraintes inhérentes à une utilisation en salle blanche pour la métrologie de procédés FEOL (fiabilité, niveau de contamination, respect des normes SEMI). Le présent marché comporte les options suivantes: Option a chiffrage obligatoire : - Option 1 : Système de connexion compatible avec les cassettes (conteneurs) transportant les wafers sous vide page 4 du cahier des charges - Option 2 : Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (UPS), page 6 du cahier des charges - Option 3 : Inverse Photoelectron spectroscopy (IPES), page 6 du cahier des charges - Option 4 : Reflected Electron Energy Loss Scattering (REELS), page 6 du cahier des charges - Option 5 : Formation maintenance niveau 1, page 40 du cahier des charges - Option 6 : Formation maintenance avancée, page 40 du cahier des charges Options à chiffrage facultatif : - Option 7 : échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement, page 15 du cahier des charges - Option 8 : Transformateur électrique, page 27 du cahier des charges - Option 9 : 2ème année garantie page 40 du cahier des charges - Option 10 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
Identifiant de la procédure: dd021363-3006-4c54-be7c-f6d4719e6500
Identifiant interne: B24-01733-SN
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : B24-01733-SN Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Motifs d’exclusion purement nationaux: Les cas d’exclusion de la procédure sont prévus aux articles L. 21411 à L. 21415 et aux articles L. 21417 à L. 214110 du code de la commande publique.
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture et installation d'un Instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur
Description: Le CEA-Leti désire s’équiper d’un instrument de métrologie par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) pour le contrôle en ligne de l’épaisseur, de la composition et des états de liaisons de matériaux déposés en couches minces pour les nœuds technologiques 10 nm et en-deçà. Cet équipement sera installé en salle blanche de classe ISO 4. Il devra permettra la mesure automatisée de structures de tests de dimensions (100*100) µm² sur des plaquettes de silicium de diamètres 300 et 200 mm. Il devra disposer de trois sources de rayons X monochromatiques de manière à couvrir, a minima, une gamme spectrale comprise entre 1.5 keV et 5.4 keV. L’équipement devra respecter les contraintes inhérentes à une utilisation en salle blanche pour la métrologie de procédés FEOL (fiabilité, niveau de contamination, respect des normes SEMI).
Identifiant interne: B24-01733-SN
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée: La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES - PILOT LINES
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Critères de sélection
Critère:
Type: Aptitude à exercer l’activité professionnelle
Description: Liste et description succincte des conditions: Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi :http:// www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https:// ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr » Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr Il est également possible de s’inscrire sur cette plateforme afin de répondre de façon électronique en suivant les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1. Se doter (pour les procédures formalisées uniquement) d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique » 2. Se connecter à l’adresse suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr 3. Compléter le formulaire et valider .
Utilisation de ce critère: Utilisé
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère:
Type: Capacité économique et financière
Description: - Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché public, portant au maximum sur les trois derniers exercices disponibles en fonction de la date de création de l'entreprise ou du début d'activité de l'opérateur économique, dans la mesure où les informations sur ces chiffres d'affaires sont disponibles ; - Déclarations appropriées de banques ou, le cas échéant, preuve d'une assurance des risques professionnels pertinents ; Si, pour une raison justifiée, l'opérateur économique n'est pas en mesure de produire les renseignements et documents demandés, il est autorisé à prouver sa capacité économique et financière par tout autre moyen.
Utilisation de ce critère: Utilisé
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère:
Type: Capacité technique et professionnelle
Description: Capacité technique et professionnelle : - Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le destinataire public ou privé. Les livraisons et les prestations de services sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration de l'opérateur économique ; - L'indication des mesures de gestion environnementale que le candidat pourra appliquer lors de l'exécution du marché public ; - Des descriptions ou photographies des fournitures ; - Des certificats établis par des instituts ou services officiels chargés du contrôle de la qualité et habilités à attester la conformité des fournitures par des références à certaines spécifications techniques. Toutefois, d'autres preuves de mesures équivalentes de garantie de la qualité produites par les candidats sont acceptées, si ceux-ci n'ont pas accès à ces certificats ou n'ont aucune possibilité de les obtenir dans les délais fixés ; L'acheteur accepte les certificats équivalents d'organismes établis dans d'autres Etats membres. Lorsqu'un opérateur économique n'a pas la possibilité d'obtenir ces certificats dans les délais fixés pour des motifs qui ne lui sont pas imputables, l'acheteur accepte d'autres mesures équivalentes pour autant que l'opérateur économique concerné établisse que les mesures proposées sont équivalentes à celles requises.
Utilisation de ce critère: Utilisé
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes:
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure: 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés.
5.1.11.
Documents de marché
Langues dans lesquelles les documents de marché sont officiellement disponibles: français
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de présentation:
Présentation par voie électronique: Requise
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées: français
Catalogue électronique: Non autorisée
Variantes: Autorisée
Date limite de réception des offres: 23/09/2024 16:00:00 (UTC+2)
Conditions du marché:
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés: Non
Facturation en ligne: Autorisée
La commande en ligne sera utilisée: non
Le paiement en ligne sera utilisé: non
Informations relatives aux délais de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre: Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique: Pas de système d’acquisition dynamique
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de médiation: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Organisation chargée des procédures de recours: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Organisation qui reçoit les demandes de participation: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Organisation qui traite les offres: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Numéro d’enregistrement: 77568501900298
Adresse postale: 17 avenue des martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Sophie Nègre
Téléphone: +33 438786771
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui reçoit les demandes de participation
Organisation qui traite les offres
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: Greffe du tribunal administratif de Grenoble
Numéro d’enregistrement: 173800053
Adresse postale: 2 place de Verdun BP 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 0476429000
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
Organisation chargée des procédures de médiation
11. Informations relatives à l’avis
11.1.
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis: ce1a1de1-b7d8-4dcb-8ce6-70dedaa9e81e - 01
Type de formulaire: Mise en concurrence
Type d’avis: Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 16
Date d’envoi de l’avis: 06/08/2024 17:45:10 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
11.2.
Informations relatives à la publication
Numéro de publication de l’avis: 477613-2024
Numéro de publication au JO S: 154/2024
Date de publication: 08/08/2024
