A proximité de Grenoble 38000 Isere
Acheteur : COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
17 Rue des Martyrs
38054 Grenoble Cedex 9
Tel : 0662599602
Secteurs d'activité
Machines et appareils microélectroniques.

Equipement de dépôt LPCVD

Type d'avis : Avis d’attribution
Type de marché : Européen
Date de publication : 22/05/2026
JOUE - 352159-2026
352159-2026 - Résultats
France – Machines et appareils microélectroniques – Equipement de dépôt LPCVD
OJ S 98/2026 22/05/2026
Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Fournitures
1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officielCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Adresse électroniquenadege.jolly@cea.fr
Forme juridique de l’acheteurOrganisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateurEnseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
TitreEquipement de dépôt LPCVD
DescriptionLe CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Identifiant de la procédure33b59efe-e89c-4429-aa93-0a03b7b41cc1
Avis précédent387253-2025
Identifiant interneB25-01489-TZ
Type de procédureNégociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accéléréenon
2.1.1.
Objet
Nature principale du marchéFournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
VilleGrenoble
Code postal38000
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
2.1.4.
Informations générales
Base juridique
Directive 2014/24/UE
5. Lot
5.1.
LotLOT-0001
TitreEquipement de dépôt LPCVD
DescriptionLe CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).
Identifiant interneB25-01489-TZ
5.1.1.
Objet
Nature principale du marchéFournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
5.1.3.
Durée estimée
Durée1 An
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP)oui
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère
TypePrix
DescriptionLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
Description de la méthode à utiliser si la pondération ne peut être exprimée par des critèresPondération (valeur, pourcentage)
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique
Pas de système d’acquisition dynamique
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recoursGREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui signe le contratCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
6. Résultats
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis1,00 EUR
6.1.
Résultat – Identifiants des lotsLOT-0001
Statut sélection adjudicataire/attributaireAu moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les adjudicataires/attributaires
Adjudicataire/attributaire
Nom de la partie soumissionnaireTOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED
Chef de file du soumissionnaireTOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED
Nom officielTOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED
Offre
Identifiant de l’offreB25-01489-TZ
Identifiant du lot ou groupe de lotsLOT-0001
Valeur de l'offre1,00 EUR
L’offre a été classéeoui
Rang de classement du candidat/lauréat1
L’offre est une variantenon
Part sous-traitéePas encore connu
Informations relatives au marché
Identifiant du contratB25-01489-TZ
Date de conclusion du marché/concession11/05/2026
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UEFAMES
Organisation qui signe le contratCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
6.1.4.
Informations statistiques
Offres ou demandes de participation/candidatures reçues
Type de soumissions reçuesOffres présentées par voie électronique
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues2
Type de soumissions reçuesOffres reçues de soumissionnaires de micro, petite ou moyenne taille
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues0
Type de soumissions reçuesOffres
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues2
Type de soumissions reçuesOffres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays de l’Espace économique européen autres que le pays de l’acheteur
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues1
Type de soumissions reçuesOffres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays situés en dehors de l’Espace économique européen
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues1
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officielCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Numéro d’enregistrement775 685 019
DépartementIsère
Adresse postale17 avenue des Martyrs
VilleGrenoble
Code postal38000
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Point de contactNadège JOLLY
Adresse électroniquenadege.jolly@cea.fr
Téléphone0662599602
Adresse internetwww.cea.fr
Adresse URL pour l'échange d'informationshttps://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise
Profil de l’acheteurhttps://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation
Acheteur
Organisation qui signe le contrat
8.1.
ORG-0002
Nom officielGREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement173800053
DépartementIsère
Adresse postale2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
VilleGrenoble Cedex
Code postal38022
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Adresse électroniquegreffe.tagrenoble@juradm.fr
Téléphone04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation
Organisation chargée des procédures de recours
8.1.
ORG-0003
Nom officielTOKYO ELECTRON EUROPE LIMITED
Taille de l’opérateur économiqueGrande
Numéro d’enregistrement2923252
Adresse postalePioneer, Crawley Business Quarter, Fleming Way, West Sussex
VilleCrawley
Code postalRH10 9QL
PaysRoyaume-Uni
Point de contactMarie-Caroline RAUZY
Adresse électroniquemarie-caroline.rauzy@europe.tel.com
Téléphone+33 6 8071 6745
Rôles de cette organisation
Soumissionnaire
Chef de file du soumissionnaire
adjudicataire/attributaire de ces lotsLOT-0001
8.1.
ORG-0000
Nom officielPublications Office of the European Union
Numéro d’enregistrementPUBL
VilleLuxembourg
Code postal2417
Subdivision pays (NUTS)Luxembourg (LU000)
PaysLuxembourg
Adresse électroniqueted@publications.europa.eu
Téléphone+352 29291
Adresse internethttps://op.europa.eu
Rôles de cette organisation
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avisb124c98d-73b9-48c4-8d75-569b52ed2312  -  01
Type de formulaireRésultats
Type d’avisAvis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis29
Date d’envoi de l’avis21/05/2026 08:13:26 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponiblefrançais
Numéro de publication de l’avis352159-2026
Numéro de publication au JO S98/2026
Date de publication22/05/2026