A proximité de Grenoble 38054 Isere
Acheteur : CEA/GRENOBLE
17 Rue des Martyrs
38054 GRENOBLE CEDEX 9
Tel : 0438783071
  Reste 32 jours - Date de clôture estimée : 01/07/2026  
Secteurs d'activité
Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques.
Machines et appareils microélectroniques.

Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Type d'avis : Avis de marché
Type de marché : Européen
Date de publication : 29/05/2026
JOUE - 368559-2026
368559-2026 - Mise en concurrence
France – Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm
OJ S 102/2026 29/05/2026
Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Fournitures
1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officielCEA/GRENOBLE
Adresse électroniquesyrga.turganalieva@cea.fr
Forme juridique de l’acheteurOrganisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateurEnseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
TitreFourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm
DescriptionPour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Identifiant de la procédure32320e72-5400-483e-8287-cc015b17389f
Identifiant internePN-B26-00364-ST
Type de procédureNégociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accéléréenon
2.1.1.
Objet
Nature principale du marchéFournitures
Nomenclature principale (cpv): 31700000 Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
VilleGrenoble
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Informations complémentairesCEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.3.
Valeur
Valeur estimée hors TVA1,00 EUR
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentairesLes entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr . Modalités d’obtention du Dossier de Consultation : Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr Le téléchargement du dossier de consultation devra préciser la référence suivante : PN-B26-00364-ST Modalités de transmission des candidatures : Les candidatures seront transmises via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr. Il convient de suivre les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) : 1.Se doter d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique» 2.Se connecter à l’adresse suivante https://www.marches-publics.gouv.fr 3.Compléter le formulaire et valider. Forme juridique que devra revêtir le groupement d’opérateurs économiques attributaire du marché (le cas échéant) En cas de groupement momentané d’entreprises, celui-ci peut être solidaire ou conjoint. Si le groupement est conjoint, le mandataire doit être solidaire de ses cotraitants. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en qualité de candidat individuel et de membre d’un ou plusieurs groupements : - en qualité de membre de plusieurs groupements
Base juridique
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Sources des motifs d'exclusionDocument de marché
5. Lot
5.1.
LotLOT-0001
TitreFourniture d’un équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD
DescriptionPour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
5.1.1.
Objet
Nature principale du marchéFournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
VilleGrenoble
Code postal38000
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Informations complémentairesCEA/Grenoble. Conditions d'accès réglementées.
5.1.3.
Durée estimée
Durée12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée
La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché non financé par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP)oui
Informations complémentairesLes entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Critères de sélection
Sources des critères de sélectionDocument de marché
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes
Nombre minimal de candidats à inviter pour la seconde étape de la procédure3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains candidats peuvent être éliminés
L’acheteur se réserve le droit d’attribuer le marché sur la base des offres initiales sans mener de négociations
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère
TypePrix
DescriptionLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères ne sont énoncés que dans les documents de passation de marchés (Translation for information : Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents).
5.1.11.
Documents de marché
Adresse des documents de marchéhttps://www.marches-publics.gouv.fr
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de soumission
Soumission par voie électroniqueRequise
Adresse de soumissionhttps://www.marches-publics.gouv.fr
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation/candidatures peuvent être présentéesfrançaisanglais
Catalogue électroniqueNon autorisée
VariantesAutorisée
Date limite de réception des demandes de participation/candidatures01/07/2026 14:00:00 (UTC+02:00) Heure de l'Europe orientale, heure d'été de l'Europe centrale
Conditions du marché
Le contrat doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégésNon
Facturation électroniqueAutorisée
La commande en ligne sera utiliséenon
Le paiement électronique sera utilisénon
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique
Pas de système d’acquisition dynamique
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recoursGREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marchéCEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marchéCEA/GRENOBLE
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recoursGREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui reçoit les demandes de participation/candidaturesCEA/GRENOBLE
Organisation qui traite les offresCEA/GRENOBLE
8. Organisations
8.1.
ORG-0003
Nom officielGREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement17800053
Adresse postale2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
VilleGRENOBLE CEDEX
Code postal38022
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Adresse électroniquegreffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0004
Nom officielCEA/GRENOBLE
Numéro d’enregistrement775 685 019 00298
Adresse postale17 avenue des Martyrs
VilleGrenoble
Code postal38054
Subdivision pays (NUTS)Isère (FRK24)
PaysFrance
Point de contactSyrga TURGANALIEVA
Adresse électroniquesyrga.turganalieva@cea.fr
Téléphone0438783071
Profil de l’acheteurhttps://www.marches-publics.gouv.fr
Rôles de cette organisation
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
Organisation qui reçoit les demandes de participation/candidatures
Organisation qui traite les offres
8.1.
ORG-0000
Nom officielPublications Office of the European Union
Numéro d’enregistrementPUBL
VilleLuxembourg
Code postal2417
Subdivision pays (NUTS)Luxembourg (LU000)
PaysLuxembourg
Adresse électroniqueted@publications.europa.eu
Téléphone+352 29291
Adresse internethttps://op.europa.eu
Rôles de cette organisation
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis5063a257-2fae-4472-94bf-bfa458bc9540  -  01
Type de formulaireMise en concurrence
Type d’avisAvis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis16
Date d’envoi de l’avis28/05/2026 08:30:00 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponiblefrançais
Numéro de publication de l’avis368559-2026
Numéro de publication au JO S102/2026
Date de publication29/05/2026