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1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Description: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Identifiant de la procédure: bd04b75b-379d-4845-8ef9-e8ac0a202975
Avis précédent: 848522-2025
Identifiant interne: B25-04834-LR
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Grenoble
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées.
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: Il a été indiqué 1.00 à la rubrique « montant » uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix des fournitures/prestations/services sans violer le secret des affaires.
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Description: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Identifiant interne: B25-04834-LR
5.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Prix de l'équipement : 45 %
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 45
Critère:
Type: Qualité
Description: Performance économique du cout de la maintenance en full service proposée : 10 %
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 10
Critère:
Type: Qualité
Description: Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des Process 2 « MEMS Comb », 4 «Through Si wide area » et 6 « Via reveal (Copper nail) » : 23%
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 23
Critère:
Type: Qualité
Description: Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des Process 1 « TSV last », 3 « MEMS Beam », 5 « Trench High Aspect Ratio » et 7 « No Bosch Trench » : 12%
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 12
Critère:
Type: Qualité
Description: Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware de l’équipement : 10%
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (pourcentage, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 10
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recours: Tribunal administratif
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Tribunal administratif
Organisation qui signe le contrat: CEA Grenoble
6. Résultats
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis: 1,00 EUR
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0001
Statut sélection adjudicataire/attributaire: Au moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les adjudicataires/attributaires
Adjudicataire/attributaire:
Nom officiel: KLA CORPORATION
Offre:
Identifiant de l’offre: B25-04834-LR
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Valeur de l'offre: 1,00 EUR
L’offre a été classée: oui
Classement de l'offre: 1
Part sous-traitée: Pas encore connu
Informations relatives au marché:
Identifiant du contrat: B25-04834-LR
Date de conclusion du marché/concession: 18/08/2026
Organisation qui signe le contrat: CEA Grenoble
6.1.4.
Informations statistiques
Offres ou demandes de participation/candidatures reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 2
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays de l’Espace économique européen autres que le pays de l’acheteur
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 0
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays situés en dehors de l’Espace économique européen
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 2
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires de micro, petite ou moyenne taille
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 0
Type de soumissions reçues: Offres présentées par voie électronique
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 2
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement: 77568501900298
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Mme. Laure REYNAUD
Téléphone: 06 75 02 30 11
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui signe le contrat
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: Tribunal administratif
Numéro d’enregistrement: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 0476429000
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: KLA CORPORATION
Taille de l’opérateur économique: Moyenne
Numéro d’enregistrement: 332 126 309 0142
Département: ISERE
Adresse postale: 387 avenue Jean Kuntzmann
Ville: Montbonnot Saint Martin
Code postal: 38330
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Franck TORRES
Téléphone: +33 6 82 09 05 49
Rôles de cette organisation:
Soumissionnaire
adjudicataire/attributaire de ces lots: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis: 433c5706-4b31-4df9-8c88-b26c9f856481 - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 03/09/2026 14:36:53 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 614409-2026
Numéro de publication au JO S: 172/2026
Date de publication: 07/09/2026
