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1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Description: Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Identifiant de la procédure: 5df4d207-d680-4796-98bb-72bd17912944
Avis précédent: 454099-2025
Identifiant interne: B25-02317-AT
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
La procédure est accélérée: non
2.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Grenoble
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Informations complémentaires: Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’ appui de sa candidature : le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesdeclarationducandidat la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.21433 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. 7/39 Il est interdit de cumuler les candidatures : en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables
2.1.4.
Informations générales
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm
Description: Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La formation de maintenance premier niveau pour 4 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°4 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des options avec chiffrage facultatif : o Option n°5 : Fourniture d’un chiller conformément à l’article 3.2.6 du cahier des charges o Option n°6 : Fourniture d’un transformateur électrique conformément à l’article 4.1.4 du cahier des charges o Option n°7 : La formation de maintenance avancée pour 2 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges
Identifiant interne: B25-02317-AT
5.1.1.
Objet
Nature principale du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Ville: Grenoble
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 12 Mois
5.1.6.
Informations générales
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère prévu. L'ensemble des critères d'attribution est énoncé dans les pièces de la consultation.
Catégorie du critère d’attribution poids: Pondération (décimal, valeur exacte)
Nombre critère d’attribution: 1
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre:
Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique:
Pas de système d’acquisition dynamique
Enchère électronique: non
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et recours
Organisation chargée des procédures de recours: Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Description des délais d'introduction des procédures de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché: CEA Grenoble
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché: CEA Grenoble
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: Greffe Tribunal administratif de Grenoble
6. Résultats
Valeur de tous les contrats attribués dans cet avis: 1,00 EUR
6.1.
Résultat – Identifiants des lots: LOT-0001
Statut sélection adjudicataire/attributaire: Au moins un lauréat a été choisi.
6.1.2.
Informations sur les adjudicataires/attributaires
Adjudicataire/attributaire:
Nom officiel: Lam Research International Sdn. Bhd
Offre:
Identifiant de l’offre: 265023-C et 270052-C
Identifiant du lot ou groupe de lots: LOT-0001
Valeur de l'offre: 1,00 EUR
L’offre est une variante: non
Part sous-traitée: Pas encore connu
Informations relatives au marché:
Identifiant du contrat: B25-02317-AT
Date de conclusion du marché/concession: 06/03/2026
6.1.4.
Informations statistiques
Offres ou demandes de participation/candidatures reçues:
Type de soumissions reçues: Offres
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 1
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires de micro, petite ou moyenne taille
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 0
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays situés en dehors de l’Espace économique européen
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 1
Type de soumissions reçues: Offres reçues de soumissionnaires enregistrés dans des pays de l’Espace économique européen autres que le pays de l’acheteur
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 0
Type de soumissions reçues: Offres présentées par voie électronique
Nombre d'offres ou de demandes de participation/candidatures reçues: 1
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement: 775 685 019 00298
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: M. Anguéran Thirion
Téléphone: 0659450565
Rôles de cette organisation:
Acheteur
Organisation qui fournit des informations complémentaires sur la procédure de passation de marché
Organisation qui fournit un accès hors ligne aux documents de marché
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: Greffe Tribunal administratif de Grenoble
Numéro d’enregistrement: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun Boîte Postale 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
8.1.
ORG-0003
Nom officiel: Lam Research International Sdn. Bhd
Taille de l’opérateur économique: Grande
Numéro d’enregistrement: 202001006985
Adresse postale: PMT 789, Persiaran Cassia Selatan 1, Batu Kawan Industrial Park
Ville: Penang
Code postal: 14110
Pays: Malaisie
Rôles de cette organisation:
Soumissionnaire
adjudicataire/attributaire de ces lots: LOT-0001
8.1.
ORG-0000
Nom officiel: Publications Office of the European Union
Numéro d’enregistrement: PUBL
Ville: Luxembourg
Code postal: 2417
Subdivision pays (NUTS): Luxembourg (LU000)
Pays: Luxembourg
Téléphone: +352 29291
Rôles de cette organisation:
TED eSender
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis: b43e6c84-8baf-4660-b27f-91cf502787a5 - 01
Type de formulaire: Résultats
Type d’avis: Avis d’attribution de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 29
Date d’envoi de l’avis: 30/03/2026 07:29:07 (UTC+00:00) Heure de l'Europe occidentale, GMT
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
Numéro de publication de l’avis: 219801-2026
Numéro de publication au JO S: 63/2026
Date de publication: 31/03/2026
