1. Acheteur
1.1.
Acheteur
Nom officiel: CEA Grenoble
Forme juridique de l’acheteur: Organisme de droit public
Activité du pouvoir adjudicateur: Enseignement
2. Procédure
2.1.
Procédure
Titre: Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Description: Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed pour les interconnexions cuivre avancées, telles que requises pour les nœuds technologiques FDSOI 7 nm et au-delà. L'équipement devra également avoir la capacité à réaliser des dépôts sélectif de capping Co pour limiter la diffusion du cuivre. Le présent marché comporte : • Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PVD pour le dépôt ALCu (Procédé 6). Le présent marché comporte également les options obligatoires suivantes : • Option n°1 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3) doté d’un plasma permettant de retirer le dépôt SAM, • Option n°2 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3), • Option n°3 : Fourniture d’une chambre CVD pour procédé SAM (self-assembled monolayer) (Procédé 5), • Option n°4 : Formation de maintenance de premier niveau, page 32 du cahier des charges, • Option n°5 : Formation de maintenance avancée, page 32 du cahier des charges. Le présent marché comporte les options facultatives suivantes : • Option n°6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement, page 12 du cahier des charges, • Option n°7 : Transformateur électrique, page 20 du cahier des charges, • Option n°8 : Extension d’une année supplémentaire de la garantie de l’Equipement, • Option n°9 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Identifiant de la procédure: 5485b0d9-6e61-4522-aff4-0eab39708919
Identifiant interne: PN-B24-02260-CG
Type de procédure: Négociée avec publication préalable d’un appel à la concurrence / concurrentielle avec négociation
2.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
2.1.4.
Informations générales
Informations complémentaires: Présentation des candidatures : Le candidat fournira à l’appui de sa candidature : - le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ; - le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat - la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ». Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R.2143-3 du code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr. Il est interdit de cumuler les candidatures : - en tant que candidat individuel et membre d’un ou plusieurs groupements y compris en tant que mandataire ; - en tant que membre d’un groupement et mandataire d’un autre. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Base juridique:
Directive 2014/24/UE
2.1.6.
Motifs d’exclusion
Motifs d’exclusion purement nationaux: Les cas d’exclusion de la procédure sont prévus aux articles L. 21411 à L. 21415 et aux articles L. 21417 à L. 214110 du code de la commande publique.
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Titre: Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Description: Le présent marché comporte : • Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PVD pour le dépôt ALCu (Procédé 6). Le présent marché comporte également les options obligatoires suivantes : • Option 1 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3) doté d’un plasma permettant de retirer le dépôt SAM, • Option n°2 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3), • Option n°3 : Fourniture d’une chambre CVD pour procédé SAM (self-assembled monolayer) (Procédé 5), • Option 4 : Formation de maintenance premier niveau, page 32 du cahier des charges, • Option 5 : Formation de maintenance avancée, page 32 du cahier des charges. Le présent marché comporte les options facultatives suivantes : • Option 6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement, page 12 du cahier des charges, • Option 7 : Transformateur électrique, page 20 du cahier des charges, • Option 8 : Extension d’une année supplémentaire de la garantie de l’Equipement, • Option 9 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).
Identifiant interne: PN-B24-02260-CG
5.1.1.
Objet
Nature du marché: Fournitures
Nomenclature principale (cpv): 31712100 Machines et appareils microélectroniques
5.1.2.
Lieu d’exécution
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble Cedex 9
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
5.1.3.
Durée estimée
Durée: 15 Mois
5.1.6.
Informations générales
Participation réservée: La participation n’est pas réservée.
Projet de passation de marché financé en totalité ou en partie par des fonds de l’UE
Information sur les fonds de l'Union européenne
Identifiant des fonds de l’UE: FAMES - PILOT LINE
Le marché relève de l’accord sur les marchés publics (AMP): oui
Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr
5.1.9.
Critères de sélection
Critère:
Type: Capacité économique et financière
Description: Déclaration concernant le chiffre d'affaires global du candidat et, le cas échéant, le chiffre d'affaires du domaine d'activité faisant l'objet du marché public, portant au maximum sur les trois derniers exercices disponibles en fonction de la date de création de l'entreprise ou du début d'activité de l'opérateur économique, dans la mesure où les informations sur ces chiffres d'affaires sont disponibles ; Déclarations appropriées de banques ou, le cas échéant, preuve d'une assurance des risques professionnels pertinents ; Bilans ou extraits de bilan, concernant les trois dernières années, des opérateurs économiques pour lesquels l'établissement des bilans est obligatoire en vertu de la loi. Si, pour une raison justifiée, l'opérateur économique n'est pas en mesure de produire les renseignements et documents demandés, il est autorisé à prouver sa capacité économique et financière par tout autre moyen.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère:
Type: Aptitude à exercer l’activité professionnelle
Description: Le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou une lettre de candidature signée par une personne habilitée à engager le candidat ou habilitant le mandataire d’un groupement à représenter le groupement accompagnée d'une attestation sur l'honneur contenant l'ensemble des informations demandées à la page 3 de ce formulaire. le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent. Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant : http://www.economie.gouv.fr/daj/formulairesmarchespublics ou un document unique de marché européen (DUME) disponible sur https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe. Ces pièces seront à produire avant l’envoi de l’invitation à soumissionner par le CEA et dans le délai fixé par ce dernier.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Critère:
Type: Capacité technique et professionnelle
Description: -Une liste des principales livraisons effectuées ou des principaux services fournis au cours des trois dernières années, indiquant le montant, la date et le destinataire public ou privé. Les livraisons et les prestations de services sont prouvées par des attestations du destinataire ou, à défaut, par une déclaration de l'opérateur économique ; -L'indication des mesures de gestion environnementale que le candidat pourra appliquer lors de l'exécution du marché public ; -Des descriptions ou photographies des fournitures ; -Des certificats établis par des instituts ou services officiels chargés du contrôle de la qualité et habilités à attester la conformité des fournitures par des références à certaines spécifications techniques. Toutefois, d'autres preuves de mesures équivalentes de garantie de la qualité produites par les candidats sont acceptées, si ceux-ci n'ont pas accès à ces certificats ou n'ont aucune possibilité de les obtenir dans les délais fixés ; L'acheteur accepte les certificats équivalents d'organismes établis dans d'autres Etats membres. Lorsqu'un opérateur économique n'a pas la possibilité d'obtenir ces certificats dans les délais fixés pour des motifs qui ne lui sont pas imputables, l'acheteur accepte d'autres mesures équivalentes pour autant que l'opérateur économique concerné établisse que les mesures proposées sont équivalentes à celles requises.
Les critères seront appliqués pour sélectionner les candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure
Informations sur la seconde étape d’une procédure en deux étapes:
Nombre minimal de candidats à convoquer pour la seconde étape de la procédure: 3
La procédure se déroulera en plusieurs étapes. À chaque étape, certains participants peuvent être éliminés
5.1.10.
Critères d’attribution
Critère:
Type: Prix
Description: Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.
5.1.11.
Documents de marché
5.1.12.
Conditions du marché public
Conditions de présentation:
Présentation par voie électronique: Requise
Langues dans lesquelles les offres ou demandes de participation peuvent être présentées: anglais
Catalogue électronique: Non autorisée
Variantes: Autorisée
Date limite de réception des demandes de participation: 23/09/2024 16:00:00 (UTC+2)
Conditions du marché:
Le marché doit être exécuté dans le cadre de programmes d’emplois protégés: Non
Facturation en ligne: Requise
La commande en ligne sera utilisée: non
Le paiement en ligne sera utilisé: non
Informations relatives aux délais de recours: Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
5.1.15.
Techniques
Accord-cadre: Pas d’accord-cadre
Informations sur le système d’acquisition dynamique: Pas de système d’acquisition dynamique
5.1.16.
Informations complémentaires, médiation et réexamen
Organisation chargée des procédures de recours: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Nom officiel: CEA Grenoble
Numéro d’enregistrement: 775 685 019 00298
Département: Isère
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code postal: 38054
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Point de contact: Mme Clara GOGORIAN
Téléphone: 0660395146
Rôles de cette organisation:
Acheteur
8.1.
ORG-0002
Nom officiel: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Numéro d’enregistrement: 173800053
Adresse postale: 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135
Ville: Grenoble Cedex
Code postal: 38022
Subdivision pays (NUTS): Isère (FRK24)
Pays: France
Téléphone: 04 76 42 90 00
Rôles de cette organisation:
Organisation chargée des procédures de recours
Organisation qui fournit des précisions concernant l’introduction des recours
11. Informations relatives à l’avis
11.1.
Informations relatives à l’avis
Identifiant/version de l’avis: d15d00fe-3ccd-4d1f-a8ec-cf3ff25637fc - 01
Type de formulaire: Mise en concurrence
Type d’avis: Avis de marché ou de concession – régime ordinaire
Sous-type d’avis: 16
Date d’envoi de l’avis: 06/08/2024 15:03:31 (UTC)
Langues dans lesquelles l’avis en question est officiellement disponible: français
11.2.
Informations relatives à la publication
Numéro de publication de l’avis: 479381-2024
Numéro de publication au JO S: 154/2024
Date de publication: 08/08/2024
