Services d'essais et d'analyses de la composition et de la pureté

Prestations de caractérisation par faisceaux d’ions haute énergie

Dans le cadre des recherches qu’il mène sur le thème des micro et nanotechnologies, le CEA-Grenoble souhaite faire réaliser des prestations de caractérisation par faisceaux d’ions à haute énergie, sur des matériaux et dispositifs provenant de ses propres unités de fabrication, voire de celles de ses partenaires industriels.

Il s’agit de caractériser des échantillons de type substrats, couches minces, empilements ou dispositifs, par l’intermédiaire des techniques analytiques suivantes :

- RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry), en mode standard ou en canalisation,

- NRA (Nuclear Reaction Analysis),

- ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis),

- PIXE (Particle Induced X-Ray Emission).

La mise au point de ces matériaux et dispositifs à l’échelle nanométrique requiert des outils d’investigation performants, en particulier dans leur capacité à accompagner la tendance générale à la miniaturisation. L’analyse par faisceaux d’ions fait partie de ces moyens et fournit des renseignements de nature chimique et structurale, parmi lesquels :

- la quantification des éléments chimiques,

- leur distribution en profondeur (profils de concentration),

- le dosage des éléments légers, et notamment l’hydrogène,

- l’évaluation de la qualité cristalline de substrats ou de couches épitaxiées,

- la localisation de défauts cristallins et d’espèces implantées.

Le nombre annuel de mesures à réaliser est estimé à 150.

Les éléments quantitatifs mentionnés sont des ordres de grandeur qui n’ont pas de valeurs contractuelle.

Prestations de caractérisation par faisceaux d’ions haute énergie

Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.

Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.

Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.

Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.

Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.