Avis de marché
Fournitures
Section I: Pouvoir adjudicateur
Section II: Objet
Fourniture d’un équipement ALE-ALD pour wafers 200mm - relance suite appel d'offre n°AOO-B23-03215-CF infructueux
L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.
L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits.
L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
CEA Grenoble - conditions d'accès réglementées
L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique.
L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits.
L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
Une option pour une troisième chambre est demandée, pour le dépôt ALD d'oxydes et de nitrures dans leurs chambres respectives.
Pour toutes les chambres de traitement, le sas de chargement et le bras robotique, la pression devra être inférieure à 1E-5 mbar, avec des taux de fuite d'hélium des chambres individuelles inférieurs à 1E-4 mbar.L/s.
Cet procédure fait suite à l'appel d'offre ouvert n°AOO-B23-03215-CF. Certaines spécifications du cahier des charges ont été modifiées.
Section III: Renseignements d’ordre juridique, économique, financier et technique
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et désignation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent ;
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement), ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet du Ministère de l'Economie, de l'Industrie et de l'Emploi :http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente ».
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr »
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr
Il est également possible de s’inscrire sur cette plateforme afin de répondre de façon électronique en suivant les étapes suivantes qui sont décrites sur le guide d’utilisation en ligne (rubrique Aide) :
1. Se doter (pour les procédures formalisées uniquement) d’un certificat électronique répondant aux spécifications indiquées dans les conditions d’utilisation de la plateforme du CEA, rubrique « Certificat électronique »
2. Se connecter à l’adresse suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
3. Compléter le formulaire et valider.
Section IV: Procédure
Section VI: Renseignements complémentaires
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités de transmission des candidatures et des offres :
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
