Centrale des marchés
Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces Date de remise des candidatures : 02/09/2019 12:00 Intitulé : Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces Objet : Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces
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Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces

Marché public ou privé
Référence du marché : 4705561

Date de clôture estimée : 02/09/19
Etat : Première publication
Publié dans :
PLACE – Achat de l’État (05/07/19)
Extrait du CCTP
Ceci est un extrait du cctp du marché "Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces" (DCE/CCTP mairie St Agnan.pdf)

CAHIER DES CLAUSES TECHNIQUES PARTICULIÈRES
MARCHÉ PUBLIC DE FOURNITURES COURANTES ET DE SERVICES
Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces
École Nationale Supérieure d’ingénieurs de Caen
Direction Générale des Services
Service des Marchés Publics
6 Boulevard Maréchal Juin
CS 45053
14050 CAEN CEDEX 4
Consultation N° 2019CIMFOAS001
Consultation N° 2019CIMFOAS001 Page 2 sur 7
Table des matières
1. Définition des besoins................................................................................3
2. Critères de choix de l’équipement. ................................................................3
3. Descriptif du matériel. ..............................................................................3
3.1. Un Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces comprenant : .........3
3.2. Prestations Supplémentaires Éventuelles (PSE) ..........................................5
3.3. Variantes .......................................................................................6
4. Formation ..............................................................................................6
5. Durée de garantie. ...................................................................................6
6. Délais de livraison et conditions d’installation. ..................................................6
7. Service après-vente ..................................................................................7
Consultation N° 2019CIMFOAS001 Page 3 sur 7
1. Définition des besoins.
L’acquisition d’un Réacteur de croissance pour le dépôt de couches minces viendra compléter
deux bâtis de croissance de pulvérisation cathodique déjà présents dans l’équipe Nanomatériaux,
Ions et Métamatériaux pour la PHotonique.(NIMPH) du CIMAP. Cet équipement devrait nous
permettre de déposer des films de grande qualité d’Oxydes, de Nitrures ou de Carbures d’éléments
chimiques comme par exemple le Zinc, l’Hafnium, le Niobium, le Silicium…De plus, ces films
pourront être dopés par un certain nombre d’éléments chimiques comme les terres rares ou des
métaux de transition. Il devra aussi être possible de déposer dans la même enceinte des matériaux
métalliques comme l’or ou l’argent. Les films déposés dans des configurations mono- ou multi-
couches de matériaux auront des épaisseurs pouvant varier du nanomètre au micromètre.
Ce système sera doté d’un sas de chargement afin de préserver les qualités du vide nécessaires
aux bonnes conditions de croissance des couches minces. Cet appareil permettra de réaliser des
couches minces sur des substrats plans de diverses natures (métallique, semi-conducteur, isolant).
Le système de dépôt devra disposer d’un ...

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